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進(jìn)口真空泵維修廠家表示真空系統(tǒng)的日常維護(hù)十分重要，可避免在出現(xiàn)故障時(shí)手足無措、并能盡快排除故障使設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)。東莞市普諾克真空科技有限公司通過以下內(nèi)容對(duì)真空系統(tǒng)的主要部件維護(hù)作簡(jiǎn)單的介紹，同時(shí)，針對(duì)真空系統(tǒng)出現(xiàn)故障情況分析其原因以及真空泵維修之真空系統(tǒng)故障排除的方法，也會(huì)整理出來提供給各位進(jìn)行參考一下的。

真空泵維修一：真空系統(tǒng)的主要部件及維護(hù)方法

1、旋轉(zhuǎn)泵：要定期檢查旋轉(zhuǎn)泵的油平面，及時(shí)補(bǔ)充油確保泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常。泵皮帶用久后容易打滑，可適量加些皮帶脂或稍調(diào)節(jié)皮帶松緊度，可延長皮帶壽命。

2、擴(kuò)散泵：擴(kuò)散泵的工作性能好壞是決定電鏡獲得高真空的關(guān)鍵，而影響擴(kuò)散泵性能的主要原因是油質(zhì)的下降和油量的減少為了減少擴(kuò)散泵油的揮發(fā)和碳化，平時(shí)儀器要定期抽真空，換樣品時(shí)盡量減少樣品室在大氣中停留的時(shí)間，關(guān)機(jī)后一般要十分鐘后才停冷卻水；有條件的冷卻最好采用循環(huán)水箱和去離子水，以減少水垢的形成，保持冷卻性能；擴(kuò)散泵油在正常情況下可連續(xù)使用十年。

真空泵維修二：真空系統(tǒng)故障原因

（1）低真空正常，高真空上不去。儀器在正常使用中光柵突然出現(xiàn)閃爍，立即關(guān)高壓后控制面板指示燈除 POWER亮，其余都熄滅，真空度下降。數(shù)分鐘后用控制面板上的檢測(cè)器測(cè)真空度（ⅤAC）電流一直在025mA.未聽見高真空主閥啟動(dòng)的聲音。查K板PD、HVAC指示燈熄滅，抽真空程序不能正常進(jìn)行。從故障現(xiàn)象看引起儀器不正常的原因是：擴(kuò)散泵工作不正常；計(jì)算機(jī)真空控制部分失控。

（2）儀器自動(dòng)關(guān)機(jī)，處于保護(hù)狀態(tài)：一開機(jī) POWER指示燈亮，機(jī)械泵響聲正常，15分鐘左右擴(kuò)散泵（DP）指示燈亮，不久PREEⅤAC、EVAC指示燈亮，一會(huì)PREEⅤAC、EVAC指示燈滅，馬上PREEⅤAC、EVAC指示燈又亮，然后儀器自動(dòng)關(guān)機(jī)處于保護(hù)狀態(tài)。引起此故障的原因有下列幾種情況：a.主電源電壓不正常；b.真空系統(tǒng)不正常； c.高壓電路故；d.計(jì)算機(jī)邏輯控制電路故障等。

真空泵維修三：真空系統(tǒng)故障排除方法

（1）檢查發(fā)現(xiàn)進(jìn)出口冷卻水溫度一樣，用手輕摸擴(kuò)散泵有余熱，估計(jì)是加熱器或加熱電路有問題，測(cè)加熱電路正常，拔下加熱器插頭，測(cè)二端電阻為∞，說明擴(kuò)散泵加熱器損壞，換上加熱器真空系統(tǒng)恢復(fù)正常。

（2）經(jīng)檢查發(fā)現(xiàn)故障是擴(kuò)散泵冷卻水溫度檢測(cè)器損壞造起，更換溫度檢測(cè)器后故障排出。

要保持真空系統(tǒng)的良好性能，必須保證系統(tǒng)的暢通清潔，首先，做好儀器的使用狀況和維護(hù)記錄，每次開機(jī)都要注意查看儀器運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。這就是真空泵維修之真空系統(tǒng)故障排除最佳的方法，而且減少后續(xù)的人力物力財(cái)力。只需要在使用的過程中花費(fèi)一點(diǎn)點(diǎn)時(shí)間進(jìn)行檢查，真空系統(tǒng)運(yùn)行的時(shí)候就可以有一點(diǎn)保障了。