2019-09-03
旋片真空泵在薄膜技術(shù)領(lǐng)域中的應(yīng)用
薄膜技術(shù)多為無形但高效的,其應(yīng)用包括:建筑玻璃上鍍膜以隔熱和防輻射,眼鏡片上鍍膜以防止眩光和劃傷,光盤與冷光燈鍍膜以加強(qiáng)光和射線的反射,工具和軸承上鍍膜以避免磨損等。如果不采用旋片真空泵及特殊設(shè)計(jì)的真空部件,這些都不可能實(shí)現(xiàn)。那么,旋片真空泵在薄膜技術(shù)領(lǐng)域中的應(yīng)用究竟發(fā)揮一個(gè)什么樣子的作用?跟著普諾克的小編一起來了解下。
薄膜分類(按功能及其應(yīng)用領(lǐng)域):
(1)電學(xué)薄膜
①半導(dǎo)體器件與集成電路中使用的導(dǎo)電材料與介質(zhì)薄膜材料
②超導(dǎo)薄膜
③光電子器件中使用的功能薄膜
④薄膜敏感元件與固態(tài)傳感器
⑤薄膜電阻、薄膜電容、薄膜阻容網(wǎng)絡(luò)與混合集成電路
⑥薄膜太陽能電池
⑦平板顯示器件
⑧用ZnO、AIN等薄膜制成的聲表面波濾波器
⑨磁記錄薄膜與薄膜磁頭
(2)光學(xué)薄膜
減反射膜、反射膜、分光鏡、濾光片;
照明光源所用的反熱鏡與冷光鏡薄膜;
建筑物、汽車等交通工具所用的鍍膜玻璃;
激光唱片與光盤中的光存儲(chǔ)薄膜;
集成光學(xué)元件所用的介質(zhì)薄膜與半導(dǎo)體薄膜。
(3)硬質(zhì)膜、耐蝕膜、潤滑膜
(4)有機(jī)分子薄膜
(5)裝飾膜
(6)包裝膜
薄膜是一種特殊的物質(zhì)形態(tài),由于其在厚度這一特定方向上尺寸很小,只是微觀可測(cè)的量,而且在厚度方向上由于表面、界面的存在,使物質(zhì)連續(xù)性發(fā)生中斷,由此使得薄膜材料產(chǎn)生了與塊狀材料不同的獨(dú)特性能。薄膜的制備方法很多,如氣相生長法、液相生長法(或氣、液相外延法)、氧化法、擴(kuò)散與涂布法、電鍍法等等,而每一種制膜方法中又可分為若干種方法。薄膜技術(shù)涉及的范圍很廣,它包括以物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積為代表的成膜技術(shù),以離子束刻蝕為代表的微細(xì)加工技術(shù),成膜、刻蝕過程的監(jiān)控技術(shù),薄膜分析、評(píng)價(jià)與檢測(cè)技術(shù)等等?,F(xiàn)在薄膜技術(shù)用旋片真空泵在電子元器件、集成光學(xué)、電子技術(shù)、紅外技術(shù)、激光技術(shù)以及航天技術(shù)和光學(xué)儀器等各個(gè)領(lǐng)域都得到了廣泛的應(yīng)用,它們不僅成為一間獨(dú)立的應(yīng)用技術(shù),而且成為材料表面改性和提高某些工藝水平的重要手段。
除了旋片真空泵在薄膜技術(shù)領(lǐng)域中的應(yīng)用,普諾克旋片真空泵還常常應(yīng)用于環(huán)保的工藝,有利于取代那些危害環(huán)境的工藝。真空泵及其它真空部件,可廣泛應(yīng)用于以下各工業(yè)領(lǐng)域:如測(cè)量儀器和檢漏儀、食品真空包裝、環(huán)保冰箱、空調(diào)、高純度與高強(qiáng)度金屬的生產(chǎn)、燈泡和彩色顯像管、平面顯示器制造等。
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