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真空系統(tǒng)在掃描電鏡中的應(yīng)用，掃描電鏡被廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域。掃描電鏡也是借助高真空系統(tǒng)。電鏡的高真空系統(tǒng)是有分子泵和前級(jí)泵組成，分子泵一般采用脂潤(rùn)滑或磁懸浮的分子泵，前級(jí)泵是采用雙級(jí)油旋片真空泵，或無(wú)油渦旋泵作為前級(jí)泵。前級(jí)泵是輔助分子泵運(yùn)行的，前級(jí)泵先將腔體抽到10pa以后再啟動(dòng)分子泵。分子泵啟動(dòng)后再將系統(tǒng)抽到-3pa~-4pa左右。

掃描電子顯微鏡，是自上世紀(jì)60年代作為商用電鏡面世以來(lái)迅速發(fā)展起來(lái)的一種新型的電子光學(xué)儀器，被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門(mén)。

在材料領(lǐng)域中，掃描電鏡技術(shù)發(fā)揮著極其重要的作用，被廣泛應(yīng)用于各種材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)、界面狀況、損傷機(jī)制及材料性能預(yù)測(cè)等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過(guò)程，可以觀察金屬材料內(nèi)部原子的集結(jié)方式和它們的真實(shí)邊界，也可以觀察在不同條件下邊界移動(dòng)的方式，還可以檢查晶體在表面機(jī)械加工中引起的損傷和輻射損傷等。

真空系統(tǒng)在掃描電鏡中具有什么產(chǎn)品特點(diǎn)呢？

應(yīng)用于掃描電鏡的真空系統(tǒng)具有制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實(shí)的三維效應(yīng)等特點(diǎn)，對(duì)于導(dǎo)電材料，可直接放入樣品室進(jìn)行分析，對(duì)于導(dǎo)電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導(dǎo)電層。

真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類(lèi)，機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿(mǎn)足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求，但對(duì)于裝置了場(chǎng)致發(fā)射槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡，則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用于放置樣品。

掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統(tǒng)兩部分。鏡體部分由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)收集和顯示系統(tǒng)以及真空抽氣系統(tǒng)組成。東莞真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染，一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

掃描電鏡需要真空的原因包括：一是電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會(huì)迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成象的電子更多。

普諾克真空系統(tǒng)在掃描電鏡中的應(yīng)用，能夠靠電子束掃描物體表面來(lái)成像的?？諝獾拇嬖跁?huì)使的電子束變型，影響掃描效果，因此需要使用到真空系統(tǒng)抽真空。如果對(duì)普諾克真空系統(tǒng)感興趣的話(huà)，都可以撥打我司的客戶(hù)熱線(xiàn)。